IATE-1072358

Subject Field	Subject Field/3606002
Is Reference of	Εξοπλισμός με κλείδωμα φορτίου-el#Sense
	Equipamento com fecho de carga-pt#Sense
	Apparecchiatura a camera di trasferimento-it#Sense
	Equipo con bloqueo de carga-es#Sense
	Udstyr med indføringssluser-da#Sense
	Équipement à sas-fr#Sense
	Ausrüstung mit Ladeschleusen-de#Sense
	Load-lock equipment-en#Sense
	"load-lock"-wafeltransport-nl#Sense