IATE-1110661

Subject Field	Subject Field/6811001
Is Reference of	Reaktor für die plasma gestützte CVD-de#Sense
	Plasmaassisteret reaktor til kemisk dampsætning-da#Sense
	Reattore per deposito di vapori chimici assistito dal plasma-it#Sense
	Réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma-fr#Sense
	Αντιδραστήρας χημικής εναπόθεσης δι'ατμών με τη βοήθεια πλάσματος-el#Sense
	Reactor voor het opbrengen door middel van plasma-CVD-nl#Sense
	Reactor de depósito de vapor químico mediante plasma-es#Sense
	Plasma assisted chemical vapour deposition reactor-en#Sense
	Reator de deposição de vapor químico assistida pelo plasma-pt#Sense