Instance of: http://www.w3.org/2004/02/skos/core#Concept
Subject Field unknown
Is Reference of Sputtern-de#Sense
Sputter etch-en#Sense
Καθαρισμός ιοντοβολής-el#Sense
Kathodenzerstäubung-de#Sense
Gravação por pulverização iónica-pt#Sense
Höyrystyssyövytys-fi#Sense
Anisotrop etsning-sv#Sense
Forstøvningsætsning-da#Sense
Grabado por pulverización iónica-es#Sense
Het sputteretsen-nl#Sense